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產(chǎn)品名稱: 日本KASHIYAMA干式真空泵SDE4030M20維修

產(chǎn)品時(shí)間: 2019-04-29

產(chǎn)品型號: SDE4030M20

產(chǎn)品特點(diǎn): KASHIYAMA工業(yè)株式會社，多年來致力于真空技術(shù)的研究，不斷開發(fā)進(jìn)取，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域和高科技行業(yè)中擁有*的信譽(yù)。尤其在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，獲得了客戶的高度評價(jià)與信賴。日本KASHIYAMA干式真空泵SDE4030M20維修

日本KASHIYAMA干式真空泵SDE4030M20維修 的詳細(xì)介紹

日本KASHIYAMA干式真空泵SDE4030M20

簡單介紹

KASHIYAMA工業(yè)株式會社，多年來致力于真空技術(shù)的研究，不斷開發(fā)進(jìn)取，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域和高科技行業(yè)中擁有*的信譽(yù)。尤其在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，獲得了客戶的高度評價(jià)與信賴。

日本KASHIYAMA干式真空泵SDE4030M20維修

詳細(xì)介紹

KASHIYAMA工業(yè)的干式真空泵系列已經(jīng)成為半導(dǎo)體制造業(yè)與液晶顯示制造行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。并，除此之外，魯式及排氣組合式真空泵設(shè)備則在其他領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。日本KASHIYAMA干式真空泵SDE4030M20維修

SDE系列

*高抽速可達(dá)200,000 L / min級

適用于大型晶圓/ FPD基板

回應(yīng)每個(gè)過程

值得信賴的真空技術(shù)。一個(gè)多樣化的產(chǎn)品組，具有的動力。

Kashiyama Industry的產(chǎn)品贏得了客戶的廣泛信賴，包括半導(dǎo)體和液晶制造領(lǐng)域。

我們多年來培養(yǎng)的真空技術(shù)已成為這種信任的基礎(chǔ)。

特別是，一系列干式泵已成為半導(dǎo)體制造工藝的標(biāo)準(zhǔn)，是一種可以說是這種真空技術(shù)的高潮的產(chǎn)品，并且得到了客戶的高度贊譽(yù)，它在*困難的工藝中表現(xiàn)出*可靠的性能。。

不僅是干泵，還有機(jī)械增壓泵，真空排氣設(shè)備等。由Kashiyama的真空技術(shù)生產(chǎn)的產(chǎn)品組在多個(gè)領(lǐng)域展示了它的強(qiáng)大功能。

特點(diǎn)

采用優(yōu)良的倉庫性能的立式螺絲

結(jié)構(gòu)材料和溫度設(shè)定導(dǎo)致的高耐腐蝕性

仕様 / 型式 *1	SDE1220	SDE20M20	SDE30M20	SDE4060	SDE4030M20	SDE8060	SDE804060
*大排気速度	20,000	30,000	50,000	60,000	80,000	120,000	190,000
[L/min] *2	20,000	30,000	50,000	60,000	80,000	120,000	190,000
到達(dá)圧力	0.5			0.8	0.5	0.8	0.5
[Pa] *2	0.5			0.8	0.5	0.8	0.5
電源電圧	3相 AC200～220V, 380～480V
(50/60Hz)	3相 AC200～220V, 380～480V
外観寸法 [mm]	W:400	W:450	W:450	W:750	W:800	W:850	W:1000
WHL *3	H:780	H:950	H:950	H:1200	H:1580	H:1220	H:1980
	L:930	L:1000	L:1000	L:1600	L:1320	L:1600	L:1850

蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮(zhèn)江日本KASHIYAMA干式真空泵維修SDE4030M20、SDE20M20、SDE8060

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